2005.06.20 (Mon)
§ [URL][飲食] オレンジジュース番付
ジョインジュース結構良い評価が付いてるけど、ポンジュースには敵わず。和歌山県民でジョインジュースマンセーの俺が言うのもなんだけど、たしかにポンジュースの方が万人受けのイイ味だと思う。
§ [デバイス][MEMS] 米IBMがMEMS技術利用のスイッチ素子を試作，SiGeパワー・アンプに組み込む Tech-On!(要登録)
IBMが集積化MEMSをやると、こうなってしまうのか。やれセンサーだとかバイオだとか言ってるのに比べると硬派だと感じてしまいます（なんとなく）。
§ [デバイス][high-k] FinFET型を先駆けるのはやはりフラッシュか，Samsungがhigh-k採用のNOR型セルを試作 Tech-On!(要登録)
制御ゲートと浮遊ゲートとを隔てるインターポリ絶縁膜にHfシリケート（比誘電率11〜12）を採用。
§ [メモリ][デバイス][FeRAM] 新規不揮発性メモリーの大容量化技術が進化 Tech-On!(要登録)
PZTの膜厚を50nm以下にするため、上部電極材料をIr/IrO2からIr/SROに変更 とか 『70nmのPZTを用いて，0.15μmルールで0.27μm2というこれまでで最も小さいセル・サイズの64kビットFeRAMを試作し動作結果を報告した。水素バリアに用いているAl2O3膜の成膜温度をコントロールすることで，さらに優れたプロセス耐性のキャパシタが可能になった』とか。
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